在半導體與潔凈制造場景中，潤滑劑的價值已不再只是降低磨損，而是盡量不成為污染源。揮發(fā)、析出、顆粒和殘留之所以被高度關注，本質上是因為它們會直接影響工藝環(huán)境、設備一致性和長期可控性。本文從潔凈制造的真實邊界出發(fā)，分析這類潤滑方案為什么最怕的不是磨損，而是對系統(tǒng)的額外擾動。很多人一提到潤滑，第一反應還是···
